应变式、电容式、压阻式、谐振式压力传感器怎么区分？温度补偿做法有何不同？
客户提问
“现场测 0～1.6 MPa 的气体压力，供应商报了应变式、电容式、压阻式，还有一种谐振式的，报价差好几倍。这几种差在哪儿？为什么每份说明书都写温度补偿，做法还不完全一样？”
先把四种敏感原理讲清楚
- 应变式（金属应变片、溅射薄膜）：压力使弹性体产生应变，应变计电阻随之变化，靠惠斯通全桥输出。灵敏度约 2 mV/V，输出幅度小，对信号调理与抗干扰设计要求高；优点是敏感层与弹性体结合牢固，长期稳定性好。
- 压阻式（扩散硅、单晶硅 MEMS）：利用半导体压阻效应，灵敏度比金属应变片高出一到两个数量级，输出幅度大，易做成小型化、充油隔离结构，成本好控制；代价是掺杂层电阻温度系数大，温漂明显。
- 电容式：压力改变极板间距，电容值随之变化，再由电容—数字转换电路读出。温漂来源是介电常数的温度系数与结构件热膨胀失配，通常用差动对称结构配合比值测量抑制。
- 谐振式：压力改变谐振子固有频率，输出接近准数字量，分辨力与长期稳定性突出；难点是加工与封装工艺复杂、成本高，多见于标准器与高准确度测量。
为什么温度补偿的路子不一样
- 应变式：弹性模量随温度上升而下降，带来灵敏度漂移。做法是在桥路中串入镍电阻修灵敏度、并入铜电阻修零点，或用激光调阻逐台修正。
- 压阻式：温漂主要来自掺杂层电阻温度系数。做法是芯片上集成测温元件，用多项式或分段查表在微控制器里修正，要求高的产品做全温区多点标定。
- 电容式：靠差动结构与参考电容的比值测量抵消共模温漂，残余误差再由软件二阶修正。
- 谐振式：设置工作谐振子与参考谐振子，取差频，把弹性模量的温度影响当作共模量抵消。
工程上的权衡与维护
选型不必纠结哪种原理更高级，按精度、介质、温度范围三条主线权衡：宽温区、长期稳定性优先偏向应变式或谐振式；成本敏感、量程小、批量大偏向压阻式；腐蚀性介质与低压微差压，电容式结构优势更明显。软件补偿依赖标定数据，超出标定温区就可能失效，选型时要问清补偿方式。
按 GB/T 15478 做性能试验、按 JJG 860 与 JJG 882 做检定时，建议把温度影响试验列进验收项，日常留意传感器是否长期工作在标定温区之外。