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电容压力传感器结构原理图

电容压力传感器原理图

电容式差压压力传感器的核心部分如上图所示，将左右对称的不锈钢基座3和3的外侧加工成环状波纹沟槽，并焊接上波纹隔离膜片1和4.基座内侧有玻璃层5，基座和玻璃层中央都有孔。玻璃层内表面磨成凹球面，球面除边缘部分外镀以金属膜6，此金属膜层有导线通往外部，为电容的左右定级板。左右对称的上述结构中央夹入并焊接弹性膜片，即测量膜片7，为电容的中央动机板。测量膜片左右空间被分隔成两个室，故有两室结构之称，国外也有一室结构的传感器，其左右两室有管道想通。在测量膜片左右两室中充满硅油，当左右隔离膜片分别承受高压ph和低压pl时，硅油的不可压缩性和流动性便能将差压△P=PH-PL传递到测量膜片的左右面上。因为测量膜片在焊接前加有预张力，所以当常压△P=0时十分平整，使得定极板左右两电容的容量完全相等，即CH=CL，电容量的差值为零。在有差压作用是，膜片发生变形，也就是动极板向低压侧定极板靠近，同事远离高压定极板，使得CL＞CH。可见，这就是差动电容形式的压力或差压传感器。

采用差动电容法的好处是，灵敏度高，可改善线性，并可减少由于介电常数ε受温度影响引起的不稳定性，这才是罗斯蒙特变送器一直稳定运行的原因。

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